技术指标
● 真空度测量范围： 9.999×10-1～1×10-5Pa ● 离子电流测量范围： 9.999×10-1～1×10-7A ● 测量误差： <10% ● 测量分辨率： 10-5pa ● 高压输出：脉冲30kV 15kHz ● 允许环境温度： -20℃～50℃ ● 空气湿度： ≤80%RH ● 电源： AC，220V，50Hz±10%